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本實驗以反應式離子束濺鍍法沉積氧化鋅奈米粒子,探討Si、SiO2及銅團聚物等不同基板對奈米粒子之形貌及分佈之影響,研究結果顯示沉積時間下降或沉積溫度上升,奈米粒子的密度隨之減少。沉積於Si、SiO2…